磊晶成長
在雙極性電晶體等元件中,於磊晶層下方設置高濃度層(埋層)的主要目的為下列何者?
- A為了降低集極的串聯電阻
- B為了加厚基極
- C為了使磊晶層成為高電阻
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正確答案:A. 為了降低集極的串聯電阻
在垂直型雙極性電晶體中,集極電流會在磊晶層底部橫向流動,朝表面的集極電極前進。若在磊晶成長前於基板以砷或銻預先形成並埋入高濃度的n⁺層,這條路徑的電阻就會下降,電晶體的飽和電壓與高頻特性也會獲得改善。使用不易擴散的砷或銻,可抑制磊晶成長中因熱而向上滲出的量。
- A. 正確。是為了降低集極電阻的高濃度層。
- B. 與基極的厚度無關。
- C. 磊晶層的電阻率由成長時的摻雜決定。