에피택셜 성장
에피택셜 웨이퍼의 품질로 관리되는 주요 항목은?
- A웨이퍼의 색과 무게
- B에피층의 막 두께와 저항률(불순물 농도), 결정 결함
- C웨이퍼 가격만
정답과 해설 보기
정답: B. 에피층의 막 두께와 저항률(불순물 농도), 결정 결함
에피택셜 웨이퍼에서는 에피층의 막 두께와 저항률(불순물 농도)이 사양대로이고 웨이퍼 면 내에서 균일한 것이 중요하며, 예를 들어 막 두께와 저항률 모두 ±수 % 이내로 관리됩니다. 또한 적층 결함 등의 결정 결함과 파티클이 적을 것, 평탄도, 금속 오염 등도 관리됩니다. 막 두께는 FTIR로, 저항률은 C-V 측정 등으로 비파괴 측정하고, 결함은 레이저 산란식 표면 검사 장치로 셉니다.