利用紅外光的干涉來量測高濃度基板上低濃度磊晶層厚度的方法為下列何者？

正確答案：C. 傅立葉轉換紅外光譜（FTIR）法

高濃度基板的自由載子多，對紅外光的折射率與低濃度的磊晶層略有不同，因此在界面會產生反射。以FTIR量測來自表面與界面的反射光的干涉條紋間距，就能在數秒內以非破壞、非接觸的方式求得磊晶層的厚度。若基板與磊晶層的濃度差小，界面的反射會變弱而無法量測，此時要改用剖面觀察或C-V測量。