エピタキシャル成長

エピタキシャルウエハの品質として管理される主な項目はどれか。

  1. Aウエハの色と重さ
  2. Bエピ層の膜厚と抵抗率(不純物濃度)、結晶欠陥
  3. Cウエハの価格だけ
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正解：B. エピ層の膜厚と抵抗率(不純物濃度)、結晶欠陥

エピタキシャルウエハでは、エピ層の膜厚と抵抗率(不純物濃度)が仕様どおりで、ウエハ面内で均一であることが重要です。さらに、積層欠陥などの結晶欠陥やパーティクルが少ないこと、平坦度なども管理されます。

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