박막 증착(CVD와 PVD)

전자빔으로 재료를 가열하는 진공 증착의 장점으로 올바른 것은?

  1. A고융점 재료도 증발시킬 수 있다
  2. B단차 피복성이 매우 높다
  3. C원료 가스의 화학 반응으로 막을 만든다
정답과 해설 보기

정답: A. 고융점 재료도 증발시킬 수 있다

전자빔 증착에서는 수 kV로 가속한 전자빔을 재료에 집중시켜 가열하므로, 저항 가열로는 녹이기 어려운 텅스텐, 몰리브덴, 산화물 등도 증발시킬 수 있고 도가니로부터의 오염도 적습니다. 증발한 원자는 직진하므로 단차 피복성이 낮은데, 이 성질을 이용해 레지스트 위에 성막한 뒤 레지스트째 불필요한 부분을 제거하는 리프트오프법으로 전극을 만드는 데 사용됩니다.

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