在表示CMP研磨速率的普雷斯頓方程式（Preston's equation）中，與研磨速率成正比的量為下列何者？

正確答案：C. 研磨壓力與研磨墊和晶圓相對速度的乘積

普雷斯頓方程式是「研磨速率 = k × 壓力 × 相對速度」的經驗公式，於1927年在玻璃研磨中提出。壓力或轉速加倍時，研磨速率也大致加倍，因此成為研磨條件設計的基礎。比例係數k會依研磨液、研磨墊與膜的種類而改變。凸出部分的局部壓力愈高、磨得愈快，這也是CMP能夠平坦化的原因。