CMP研磨頭中圍繞在晶圓周圍的扣環（retainer ring）之作用為下列何者？

正確答案：C. 固定晶圓以免在研磨中飛出，並抑制晶圓周邊部研磨的不均勻

扣環是圍繞在研磨頭所固定之晶圓外圍的樹脂環。它在防止晶圓於研磨中橫向飛出的同時，也在比晶圓稍外側處壓住研磨墊，抑制研磨墊在晶圓邊緣隆起或下陷的變形，減少外圍數mm的研磨量不均。環本身也會被研磨墊磨耗而消耗，因此需要定期更換。