在清洗液中施加MHz頻段的超音波，以去除晶圓表面微小微粒的清洗方法為下列何者？

正確答案：B. 兆聲波（megasonic）清洗

兆聲波清洗是在清洗液中施加約1 MHz左右的超音波，藉由液體的高速流動（聲流）與很薄的邊界層，將微小微粒從表面拉開而去除。數十kHz的超音波清洗，因液體中氣泡潰滅所產生的強烈衝擊（空蝕）而容易破壞微細圖案；相對地，頻率高時衝擊較小，可在抑制損傷的同時去除0.1 µm以下的粒子。經常與SC-1搭配使用。