CMP의 연마 속도를 나타내는 프레스턴 방정식에서 연마 속도에 비례한다고 하는 양은?

정답: C. 연마 압력과, 패드와 웨이퍼의 상대 속도의 곱

프레스턴 방정식은 '연마 속도 = k × 압력 × 상대 속도'라는 경험식으로, 1927년 유리 연마에서 제시되었습니다. 압력이나 회전수를 2배로 하면 연마 속도도 거의 2배가 되므로 연마 조건 설계의 기본이 됩니다. 비례 계수 k는 슬러리, 패드, 막의 종류에 따라 달라집니다. 볼록부일수록 국소 압력이 높아 빨리 깎인다는 점이 CMP로 평탄화가 가능한 이유이기도 합니다.