先進技術(3D構裝與小晶片)
在扇出型晶圓級封裝中,將切割出來的晶片隔著間隔排列在支撐體上,以樹脂包埋而重新製作成的晶圓狀物體稱為什麼?
- ASOI晶圓
- B磊晶晶圓
- C重組晶圓(reconstituted wafer)
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正確答案:C. 重組晶圓(reconstituted wafer)
在扇出型中,會將經測試挑選出的良品晶片隔著間隔排列在支撐體上,周圍以封裝樹脂填滿,重新製作成晶圓的形狀。這稱為重組晶圓。由於在擴展到晶片外側的樹脂上也能形成重分佈層,可在比晶片更大的範圍內配置外部端子,又因為只使用良品,也能減少良率上的浪費。SOI或磊晶晶圓是前段製程的基板。
- A. SOI晶圓是在絕緣膜上具有薄矽層的晶圓。
- B. 磊晶晶圓是在表面成長出單晶層的晶圓。
- C. 正確。這是以樹脂包埋晶片重新製作的晶圓。