「2奈米」「3奈米」是什麼的長度?看懂晶片製程世代的數字
「2奈米」「3奈米」(2 nm、3 nm)是替製造半導體晶片的技術世代取的名稱。晶片裡並沒有哪個部分的長度是 2 nm。以前,這個數字和電路的尺寸大致相同。從1990年代中期左右開始出現落差,現在它代表的是「能比上一代排得更密」的稱呼。
這篇文章可以了解
- 1 nm(奈米)有多小
- 世代的數字以前是什麼的長度,後來為什麼和尺寸脫鉤
- 世代前進時,實際上變小的是什麼
- 不同公司的「◯ nm」為什麼不能直接比較
- 「2 nm 級」世代使用的電晶體形狀(GAA)
先備知識:知道電晶體是「在閘極加上電壓來導通、關閉的開關」,會比較容易閱讀。詳細說明請見「電晶體是什麼?」。
生活周遭:新聞裡的「2奈米」
「台積電(TSMC)開始量產2奈米」「Rapidus 在北海道推進2奈米試產」。從2025年左右起,常常看到這樣的新聞。蘋果(Apple)在2023年也有類似的說法。它把 iPhone 15 Pro 用的晶片「A17 Pro」,稱為「業界首款 3 奈米晶片」。
這裡的「2 nm」「3 nm」,是表示製造晶片的技術(製程)世代的數字。業界把這種世代稱為「製程節點」,簡稱「節點」。一般來說,數字越小,世代越新。
那麼,2 nm 是什麼的長度呢?先說答案:現在它並不是某個特定位置的長度。本文會依序說明演變成這樣的原因,以及數字的正確讀法。
1 nm 有多小?
nm(奈米)是長度單位。1 nm 是 1 m 的十億分之一,也是 1 mm 的百萬分之一。美國政府的奈米科技計畫(NNI)介紹說:「1 nm 大約是指甲 1 秒鐘長出的長度。」
根據同一份資料,頭髮的粗細是8萬~10萬 nm,紙的厚度約10萬 nm。換算下來,一根頭髮的粗細裡,可以排將近10萬個 1 nm。
我們也和原子比較看看。晶片的材料矽,是原子規則排列而成的晶體。相鄰原子中心之間的距離約 0.235 nm。也就是說,2 nm 只有原子間距的8~9倍。晶體是立體排列的,所以這裡的算法只是粗略的參考。
以前,數字是真正的長度
電晶體裡有一個切換導通、關閉的部分,叫做「閘極」。沿著電子流動的方向量測閘極的長度,稱為閘極長度。閘極長度越短,電晶體就越小,也能切換得越快。
晶片裡,導線等相同的形狀會重複排列。「一條線,加上到隔壁那條線的一段空隙」合起來的寬度,稱為間距(pitch)。間距的一半稱為半間距;如果線和空隙一樣寬,半間距就等於一條線的寬度。
1970~80年代,世代名稱的數字和閘極長度或半間距幾乎相同。數字是「這個世代能做出的最細線寬」的參考值。每前進一個世代,數字大約變成0.7倍。
為什麼是0.7倍呢?長和寬都變成0.7倍,面積就是0.7×0.7,約0.5倍。也就是「同樣的電路,大約用一半的面積就能做出來」。之後的名稱順序(0.35 µm、0.25 µm、0.18 µm、0.13 µm、90 nm、65 nm、45 nm…)也依循這個規則。µm(微米)是 nm 的1000倍,0.35 µm 就是 350 nm。
數字與尺寸開始脫鉤的原因
電機電子領域的學會 IEEE,有一本雜誌叫 IEEE Spectrum。根據它2020年的文章,從1990年代中期起,閘極長度和導線的尺寸開始各自發展。這是因為各公司為了讓電晶體切換得更快,特別加速縮短閘極長度。例如稱為「130 nm」的世代,閘極長度是 70 nm。英特爾(Intel)在2021年的發表中也說明,名稱與閘極長度從1997年起就不再一致。
即使如此,業界仍延續每代把數字乘以0.7的命名方式。就這樣,世代名稱漸漸不再代表某一處的尺寸。
到了2010年代,落差變得更大。平面的電晶體縮得太小,即使用閘極關閉,電流也容易漏出。於是出現了一種形狀:把電子的通道像薄板一樣豎起來,由閘極從三個方向包住。這稱為FinFET(鰭式場效電晶體)。英特爾在2011年發表,並在 22 nm 世代首次用於量產。
把薄板豎起來,不必增加從上方看的晶片面積,就能擴大閘極控制電流的面。此外,靠元件排列方式和導線的改良,同樣的電路也能塞進更小的面積。即使沒有把某一個尺寸縮成0.7倍,也能提高整體的密度。各公司會把靠這些改良、自認已有足夠進步的世代,冠上下一個數字的名稱。
實際變小的東西:排列的間距
那麼,世代前進時,實際上變小的是什麼呢?大大影響晶片密度的,是排列元件的間距。主要的參考有以下3個。
- 閘極間距:橫向排列的閘極彼此之間的間距。專業上稱為「接觸閘極間距」
- 導線間距:最細的金屬導線彼此之間的間距(金屬間距)
- 元件高度:組合電路時使用、形狀固定的基本元件(標準元件)的高度。由能通過幾條導線來決定
元件的面積是「高度×寬度」,寬度則由相當於幾個閘極間距來決定。因此,閘極間距和元件高度越小,同樣的面積就能排進越多電晶體。
我們來看實際的數字。關於 2 nm 級的世代,各公司並沒有詳細公布這些尺寸。所以這裡用製造商公布過、稍早一點的例子。英特爾在2017年發表,「10 nm」世代的閘極間距是 54 nm,最細的導線間距是 36 nm。名稱雖是 10 nm,主要的間距卻有數十 nm。
也和原子的大小比較看看。54 nm 約是矽原子間距(約 0.235 nm)的230倍。只看名稱的數字,好像已經接近原子;但閘極排列的間距,其實還有200多個原子那麼寬。
不同公司,同樣的「◯ nm」也不能比較
世代的名稱,是各公司自己決定的。所以即使數字相同,實際的密度也因公司而異。英特爾的工程師 Mark Bohr 在2017年指出:「有些公司密度幾乎沒提高,也照樣推進名稱的數字。」他並寫道,名稱已經無法當作比較世代的參考。
明顯的例子,是英特爾自己的改名。英特爾在2021年7月,把原本稱為「10nm Enhanced SuperFin」的世代,改名為「Intel 7」。理由是讓整個業界能更準確地比較世代。尺寸並沒有改變,只改了名稱。
這時英特爾也從名稱中拿掉了「nm」。之後世代的名稱是「Intel 4」「Intel 3」「Intel 18A」等。A 是長度單位埃(Å,1 Å = 0.1 nm)的英文字首。18A 就是 18 Å,相當於 1.8 nm 的名稱。
改用新電晶體形狀的時間點,也因公司而異。後面會說明的 GAA 形狀,三星(Samsung)在2022年的「3 nm」世代開始採用。台積電和英特爾則從2025年開始量產的「2 nm 級」世代採用。即使是數字相同的世代,內容也不一致。
更好的尺度:電晶體密度
比較世代時,比起名稱,「1 mm²(1 mm 見方)能放進幾個電晶體」的「電晶體密度」更有用。單位用代表一百萬個的 MTr,寫成「MTr/mm²」。英特爾在2017年發表,10 nm 世代的密度是 100.8 MTr/mm²(每 1 mm² 約1億個)。
不過,密度的數字也要注意。這個值是假設把兩種常用的基本元件,以固定比例排列而算出來的。實際的晶片還有對外連接的電路和空隙,所以整顆晶片的密度,多半比這個值低。各公司之間,也沒有統一算法的規則。
研究人員也提出了並列好幾個數字來比較的方法(IEEE Spectrum,2020年)。也就是運算電路的密度、記憶體的密度,以及連接兩者的導線密度這3個。背後的想法是:只用一個數字,無法完整表示技術的進展。
「2 nm 級」的電晶體:GAA 與奈米片
在 FinFET 中,閘極從三個方向包住電子的通道。再縮小下去,即使從三個方向包住,也開始壓不住電流。因此,業界開始採用由閘極包住通道四周的形狀。這稱為GAA(環繞式閘極,gate-all-around)。
目前主要使用的 GAA,是把厚度數 nm 的矽薄板,隔著空隙疊上幾片的形狀。閘極會把每一片薄板分別包住。這種薄板稱為奈米片。改變薄板的寬度,就能調整可流過的電流大小。
主要公司的動向如下(依據2026年10月時確認到的各公司發表)。
| 時期 | 事件 |
|---|---|
| 2021年5月 | IBM 發表使用奈米片的「2 nm」試作晶片(閘極長度 12 nm) |
| 2022年6月 | 三星發表已在「3 nm」世代開始生產使用 GAA 的晶片(並稱這是全球首次以 GAA 生產) |
| 2025年7月 | 日本的Rapidus發表,已在北海道千歲市工廠試作的 2 nm GAA 電晶體上確認電氣特性 |
| 2025年下半年 | 英特爾開始大量生產使用 GAA(該公司稱為 RibbonFET)的「Intel 18A」(依據該公司年報) |
| 2025年10~12月 | 台積電開始量產公司首度採用奈米片的「N2」(2 nm 世代)(依據該公司網站) |
各公司的量產狀況與計畫容易變動,最新資訊請以各公司的發表為準。
即使如此仍要縮小的理由,以及極限
即使名稱和尺寸脫鉤,做得更細仍有很大的意義。第一是同樣的面積能放進更多電晶體。同樣大小的晶片,可以放進更多運算電路或記憶體。
第二是電力。電晶體和導線變小後,每次導通、關閉所需移動的電量就會減少。例如台積電在2022年發表,N2 和上一代 3 nm 世代相比,在相同速度下,耗電預計可減少25~30%。
另一方面,極限也已經浮現。晶片上細微的圖案,是在用光轉印電路形狀的製程(曝光)中畫出來的。最細的圖案,需要使用波長 13.5 nm 光線的EUV 曝光,這種設備非常昂貴。世代越前進,製程步驟也越多,所以每個電晶體的製造成本,已不像以前那樣持續下降。
熱也是問題。直到2000年代中期,越縮小,電源電壓也能跟著降低,單位面積的耗電不必增加。現在電壓很難再降,所以塞得越密,越難把熱散出去。因此,把晶片堆疊起來等縮小以外的方法也在發展。這些方向整理在「微縮之後」。
常見的誤解
誤解:「2 nm」表示電晶體的大小是 2 nm
實際上,這是用來區分世代的名稱。IBM 的「2 nm」試作,閘極長度也有 12 nm;英特爾的「10 nm」世代,閘極間距是 54 nm。一個電晶體所占的空間,長和寬都遠大於 2 nm。以前數字與尺寸幾乎一致,所以才產生這種誤解。
誤解:數字越小,晶片的性能一定越好
實際上,命名方式因公司而異,不同公司的數字無法比較。而且晶片的性能,也會因電路設計、用多少電力運作而有很大差異。控制汽車或家電的晶片、感測器等,多半用製造成本低、經過實績驗證的舊世代製造。選擇適合用途的世代才是重點。
誤解:很快就會到達一個原子的大小,再也無法縮小
實際上,名稱的數字並不是尺寸,所以也能使用比 1 nm 更小的名稱。台積電在2024年發表,把 2 nm 世代之後的世代命名為「A16」(1.6 nm 級)。不過,有些部分已經非常薄。在 IBM 的 2 nm 試作(2021年)中,一片奈米片的厚度約 5 nm,只有矽原子間距的約20倍。要再把那裡變薄很困難,所以把元件縱向堆疊等改變形狀的開發正在進行。
用數字來看
| 東西 | 長度 |
|---|---|
| 頭髮的粗細 | 8萬~10萬 nm |
| 「130 nm」世代的閘極長度(IEEE Spectrum,2020年) | 70 nm |
| 英特爾「10 nm」世代的閘極間距(2017年發表) | 54 nm |
| 同一世代的最細導線間距 | 36 nm |
| EUV 曝光使用的光的波長 | 13.5 nm |
| IBM「2 nm」試作的閘極長度(2021年) | 12 nm |
| 指甲 1 秒鐘長出的長度(NNI 的說明) | 約 1 nm |
| 矽的相鄰原子間距 | 約 0.235 nm |
表中閘極長度與間距的4項,是晶片內部的實際尺寸。「130 nm」世代的閘極長度比名稱的數字小,「10 nm」和「2 nm」則比名稱大得多。名稱的數字和實際尺寸之間,並沒有固定的關係。
深入學習
- 用表格看電晶體形狀的演變:請見「平面式 MOSFET 與 FinFET 的差異」「FinFET 與 GAA 電晶體的差異」。
- 用光畫出細微圖案的製程(微影):可以用微影解析度計算器,試試改變光的波長時,能畫出的線寬會怎麼變。EUV 與更早方式的差異,可在「EUV 與 DUV 曝光的差異」中比較。
- 新聞中出現的公司角色:承接製造的晶圓代工廠等詞的意思,可以在名詞解釋中閱讀。
- 縮小以外的方法:在「微縮之後」可以一次讀到 3D 封裝與新材料等內容。
- 想從基礎重新讀起:「半導體是什麼?」(矽的晶體)、「電晶體是什麼?」(閘極與通道、摩爾定律)。