コリオリ力란?
こりおりりょく
回転する座標系の中で運動する物体に、運動の向きと垂直に働く見かけの力。振動型のMEMSジャイロスコープは、この力による変位から角速度を検出する。
일본어 명칭: コリオリ力
분야: MEMS와 센서
こりおりりょく
回転する座標系の中で運動する物体に、運動の向きと垂直に働く見かけの力。振動型のMEMSジャイロスコープは、この力による変位から角速度を検出する。
일본어 명칭: コリオリ力
분야: MEMS와 센서
加速度センサー 陽極接合 犠牲層エッチング 静電容量検出 MEMS ジャイロスコープ スティクション ピエゾ抵抗効果 ホール素子 ボッシュプロセス(Deep RIE)