CZシリコンを450℃付近で熱処理すると、酸素原子が集まってドナーとして働き、ウエハの抵抗率が変わることがある。これを何と呼ぶか。

正解：B. サーマルドナー

格子間酸素を含むCZシリコンを350〜500℃程度で熱処理すると、酸素の小さな集合体ができ、電子を放出するドナーとして働きます。これをサーマルドナーといい、特に低濃度のp型ウエハでは抵抗率が大きく変わったり、n型に反転したりします。650℃程度以上の熱処理で消すことができます。

• A. ゲッタリングサイトは不純物を捕らえる場所のことです。
• B. 正しい。酸素の集合体がドナーとして働く現象です。
• C. アクセプタではなくドナーとして働きます。