シリコンウエハ
ウエハの表面にある、波長が数mm程度の非常にゆるやかで高さ数十nm程度の凹凸を何と呼ぶか。
- Aナノトポグラフィ
- Bノッチ
- C表面粗さ(ラフネス)
答えと解説を見る
正解：A. ナノトポグラフィ
ナノトポグラフィは、横方向の広がりが0.2〜20 mm程度、高さが数〜数十nmのゆるやかな起伏です。CMPで薄膜を平坦化するとき、この起伏に沿って膜の厚さがばらつく原因になるため、先端デバイス用のウエハでは厳しく管理されます。
- A. 正しい。mm程度の周期の、ゆるやかな数十nmの起伏です。
- B. ノッチはウエハの外周の切り欠きです。
- C. 表面粗さは、より短い周期(nm〜µm程度)の細かな凹凸です。