シリコンウエハ

シリコンのインゴットを、一度に多数のウエハにスライスするために一般的に使われる装置はどれか。

  1. Aダイシングブレード
  2. Bマルチワイヤーソー
  3. CCMP装置
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正解:B. マルチワイヤーソー

マルチワイヤーソーは、細いワイヤーを多数平行に張って走らせ、砥粒やダイヤモンドを付けたワイヤーでインゴットを一度に多数のウエハに切断する装置です。切りしろが小さく、材料の無駄を減らせます。ダイシングブレードは完成したウエハをチップに切り分けるのに使います。

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