실리콘 웨이퍼

고순도 다결정 실리콘의 대표적인 제조 방법은 무엇인가?

  1. A보슈법
  2. B지멘스법(트리클로로실란의 수소 환원에 의한 석출)
  3. C다마신법
정답과 해설 보기

정답: B. 지멘스법(트리클로로실란의 수소 환원에 의한 석출)

지멘스법에서는 순도 98% 정도의 금속 실리콘을 염화수소와 반응시켜 트리클로로실란(SiHCl3, 끓는점 약 32 ℃)으로 만들고, 증류로 고순도화한 뒤 약 1100 ℃로 가열한 실리콘 막대 위에서 수소와 반응시켜 고순도 실리콘을 석출시킵니다. 이렇게 순도 11N(99.999999999%)급의 다결정 실리콘을 만들어 CZ법 등의 원료로 사용합니다. 전력을 많이 소비하는 공정입니다.

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