실리콘 웨이퍼
실리콘 웨이퍼의 외주에 마련하는 노치(작은 홈)의 주된 역할은 무엇인가?
- A결정 방위의 기준을 나타낸다
- B웨이퍼를 가볍게 한다
- C세정액을 배출한다
정답과 해설 보기
정답: A. 결정 방위의 기준을 나타낸다
노치는 웨이퍼 외주에 있는 깊이 약 1 mm의 V자 홈으로, 결정 방위(예: <110> 방향)를 나타내는 표식입니다. 장치는 노치를 검출하여 웨이퍼의 방향을 맞추고, 결정 방위에 대해 올바른 방향으로 패턴을 만듭니다. 결정 방위에 따라 식각 속도와 이동도가 달라지므로 중요합니다. 150 mm 이하에서는 외주 일부를 직선으로 깎은 오리엔테이션 플랫(오리플랫)이 사용되었으나, 면적 낭비를 줄이기 위해 노치로 바뀌었습니다.