テスト・検査
ウエハテスト(プローブテスト)の説明として正しいものはどれか。
- Aダイシング前に、ウエハ上の各チップにプローブを当てて電気的特性を検査する
- Bパッケージ封止後に、外観だけを検査する
- C製品を長期間使用して故障率を調べる
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正解:A. ダイシング前に、ウエハ上の各チップにプローブを当てて電気的特性を検査する
ウエハテストでは、プローブカードの針をチップの電極パッドに当て、テスタで電気的な特性や機能を検査します。不良チップをこの段階で見つけることで、不良品をパッケージ工程に流さずに済み、コストを減らせます。