プロセス材料(ガス・薬液)

MOCVDの原料であるトリメチルガリウム(TMGa)などの有機金属化合物の取り扱い上の注意点として正しいものはどれか。

  1. A毒性も反応性もなく、安全に扱える
  2. B強い放射線を出す
  3. C空気や水と激しく反応し、自然発火するおそれがある
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正解：C. 空気や水と激しく反応し、自然発火するおそれがある

トリメチルガリウムやトリメチルアルミニウムなどの有機金属化合物は、空気中で自然発火し、水とも激しく反応します。専用の容器(バブラー)に入れ、不活性ガスで原料の蒸気を運んで装置に供給するなど、空気や水に触れないように取り扱います。

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