半導体物性

ドナー濃度5×10¹⁶ cm⁻³とアクセプタ濃度2×10¹⁶ cm⁻³の両方を含むシリコン(室温、すべてイオン化)の性質として正しいものはどれか。

  1. Ap型で、正孔濃度は約2×10¹⁶ cm⁻³
  2. Bn型で、電子濃度は約3×10¹⁶ cm⁻³
  3. Cn型で、電子濃度は約7×10¹⁶ cm⁻³
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正解:B. n型で、電子濃度は約3×10¹⁶ cm⁻³

ドナーとアクセプタが両方あると、互いに打ち消し合います(補償)。ドナーの方が多いのでn型になり、電子濃度は差の 5×10¹⁶ − 2×10¹⁶ = 3×10¹⁶ cm⁻³ になります。イオン注入でウェルの中にソース・ドレインをつくる場合なども、この考え方で導電型と濃度が決まります。

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