산화와 확산
MOS 구조의 산화막과 그 계면에 있는 전하의 종류의 조합으로 일반적으로 분류되는 것은?
- A고정 전하·가동 이온 전하·산화막 트랩 전하·계면 트랩 전하
- B직류 전하·교류 전하·정전하
- C정공 전하·전자 전하·중성 전하
정답과 해설 보기
정답: A. 고정 전하·가동 이온 전하·산화막 트랩 전하·계면 트랩 전하
산화막 주변의 전하는 계면 바로 근처 산화막에 있는 고정 전하(Qf, 양), 나트륨 등의 가동 이온 전하(Qm), 막 속 결함에 붙잡힌 산화막 트랩 전하(Qot), 계면 준위에 의한 계면 트랩 전하(Qit)의 4가지로 분류됩니다. 모두 플랫밴드 전압이나 문턱 전압을 이동시키며, Qit는 서브스레숄드 특성도 악화시킵니다. C-V 측정으로 종류별로 평가됩니다.
- A. 올바릅니다. 4종류로 분류됩니다.
- B. 이러한 분류는 사용되지 않습니다.
- C. 이러한 분류는 사용되지 않습니다.