酸化・拡散

LOCOSなどの素子分離に使われたフィールド酸化膜と、MOSFETのゲート酸化膜の厚さの関係として一般的に正しいものはどれか。

  1. Aゲート酸化膜の方がずっと厚い
  2. B両者は同じ厚さである
  3. Cフィールド酸化膜の方がずっと厚い
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正解：C. フィールド酸化膜の方がずっと厚い

フィールド酸化膜は、配線の下などで寄生トランジスタがオンしないように、数百nm程度と厚くつくります。一方、ゲート酸化膜はゲートの電界をチャネルに強く伝えるため、数nm程度と非常に薄くします。

  • A. ゲート酸化膜は電界を強く伝えるため薄くします。
  • B. 役割が違うため、厚さは大きく異なります。
  • C. 正しい。素子分離用の酸化膜はずっと厚くつくります。
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