높은 압력의 산화 분위기에서 열산화를 하는 이점으로 올바른 것은?

정답: B. 낮은 온도에서도 빠르게 산화할 수 있어 열에 의한 불순물 확산을 억제할 수 있다

산화제의 압력을 높이면 산화막 속에 녹아드는 산화제의 양이 압력에 비례하여 늘어나므로 산화 속도(특히 포물선 속도 상수)가 올라갑니다. 예를 들어 10기압으로 하면 속도가 약 10배가 되어, 온도를 크게 낮춰도 같은 두께의 막을 얻을 수 있습니다. 열에 의한 불순물 확산이나 산화 유기 적층 결함 등의 결함 발생을 억제할 수 있어, 두꺼운 산화막이 필요한 전력 소자 등에 사용되어 왔습니다.