シリコンの熱酸化が一般的に行われる温度の範囲として最も近いものはどれか。

正解：B. 約800〜1,200℃

シリコンの熱酸化は、一般に800〜1,200℃程度の高温で行われます。温度が高いほど酸化は速く進みます。シリコンの融点は約1,414℃なので、それより十分低い温度で処理します。

• A. 約100〜200℃では、シリコンの酸化はほとんど進みません。
• B. 正しい。800〜1,200℃程度で行います。
• C. 約2,000℃以上はシリコンの融点を超えてしまいます。