계측과 분석
장비 센서의 데이터 등으로부터, 실제로 측정하지 않은 웨이퍼의 막 두께나 치수를 통계 모델로 예측하는 기법을 무엇이라고 하는가?
- A파괴 검사
- B외관 검사
- C가상 계측(버추얼 메트롤로지)
정답과 해설 보기
정답: C. 가상 계측(버추얼 메트롤로지)
가상 계측은 처리 중인 장비의 온도·압력·전력 등의 센서 데이터와 과거 계측 결과의 관계를 머신러닝 등으로 모델화하여, 계측하지 않은 웨이퍼의 결과를 예측하는 기법입니다. 전수를 계측하지 않아도 공정 상태를 추정할 수 있어, 이상의 조기 검출이나 웨이퍼별로 조건을 보정하는 제어에 도움이 됩니다. 다만 장비 상태가 바뀌면 모델이 어긋나므로, 실제 계측으로 정기적으로 확인합니다.
- A. 파괴 검사는 시료를 파괴하여 조사하는 방법입니다.
- B. 외관 검사는 겉모습의 이상을 조사하는 검사입니다.
- C. 올바릅니다. 센서 데이터로부터 계측값을 예측하는 기법입니다.