중첩(오버레이) 어긋남을 계측하기 위해 웨이퍼 위에 마련하는 것은?

정답: C. 중첩 계측용 전용 마크

중첩 정밀도를 측정하기 위해 스크라이브 라인 등에 이전 층과 현재 층의 패턴을 조합한 전용 마크를 만듭니다. 광학식 장비로 두 패턴의 중심 어긋남을 측정하거나, 위아래 격자에서 오는 회절광의 차이로부터 어긋남을 구합니다. 결과는 웨이퍼 내 위치별 어긋남으로서 노광 장비에 보내져 다음 로트의 보정에 사용됩니다. 본딩 패드나 노치는 다른 목적의 것입니다.