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노광할 때 이전 공정에서 만든 패턴에 다음 패턴을 정확하게 겹치기 위해 웨이퍼 위에 마련해 두는 표식을 무엇이라고 하는가?
- A얼라인먼트 마크
- B노치
- C스크라이브
정답과 해설 보기
정답: A. 얼라인먼트 마크
얼라인먼트 마크는 웨이퍼 위의 칩 바깥쪽(스크라이브 라인 위 등)에 만들어 두는 위치 정렬용 격자 등의 패턴입니다. 노광 장비는 이것을 빛의 회절 등으로 검출하여 웨이퍼의 위치·회전·신축, 나아가 웨이퍼 내의 국소적인 변형까지 보정하고 이전 층의 패턴에 다음 층을 정확히 겹칩니다. 웨이퍼 1장에서 수십 곳의 마크를 측정하기도 하며, 마크 자체가 가공으로 무너지지 않도록 설계됩니다.
- A. 올바릅니다. 위치 정렬용 표식입니다.
- B. 노치는 웨이퍼의 결정 방위를 나타내는 외주의 절단부입니다.
- C. 스크라이브는 칩을 나누기 위한 선(영역)이며 마크 자체가 아닙니다.