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미세화의 지표로 사용되는 「하프 피치」의 의미로 올바른 것은?
- A칩 한 변 길이의 절반
- B웨이퍼 지름의 절반
- C반복 패턴의 선과 간격을 합친 주기(피치)의 절반
정답과 해설 보기
정답: C. 반복 패턴의 선과 간격을 합친 주기(피치)의 절반
선과 간격이 반복되는 패턴에서 선 하나와 간격 하나를 합친 길이가 피치이고, 그 절반이 하프 피치입니다. 선폭과 간격이 같으면 하프 피치는 선폭과 같아집니다. 예전에는 DRAM의 하프 피치가 세대의 이름(예: 90 nm 세대)이 되었습니다. 해상 한계는 본래 피치로 정해지므로, 로직의 미세화는 현재 최소 배선 피치나 게이트 피치(CPP)로 비교됩니다.
- A. 칩의 크기와는 관계가 없습니다.
- B. 웨이퍼의 크기와는 관계가 없습니다.
- C. 올바릅니다. 반복 패턴 주기의 절반입니다.