포토리소그래피

포지티브형 화학 증폭 레지스트를 유기 용제로 현상하여 노광하지 않은 부분을 녹이는 방법은?

  1. A포지티브톤 현상
  2. BEUV 노광
  3. C네거티브톤 현상(NTD)
정답과 해설 보기

정답: C. 네거티브톤 현상(NTD)

네거티브톤 현상에서는 포지티브형 화학 증폭 레지스트를 사용하면서, 유기 용제(아세트산 부틸 등) 현상액으로 노광하지 않은 부분을 녹이고 노광한 부분을 남깁니다. 가는 홈이나 작은 홀 패턴에서는 마스크의 밝은 부분을 줄일 수 있는(암시야) 쪽이 상의 콘트라스트가 좋아지므로, ArF 액침 노광의 콘택트 홀이나 배선 홈의 형성 등에 사용됩니다. 레지스트의 팽윤이 적은 것도 장점입니다.

이 분야 연습하기 분야로 돌아가기

포토리소그래피의 다른 문제

  1. EUV 노광용으로 개발이 진행되는 금속 산화물을 포함한 레지스트의 장점으로 올바른 것은?
  2. 블록 공중합체가 저절로 규칙적인 미세 패턴을 만드는 성질을 이용한 패턴 형성 기술은?
  3. 반도체 제조에서 리소그래피의 역할로 올바른 것은?
  4. 「리소그래피(lithography)」라는 말의 본래 의미로 올바른 것은?
  5. 포토레지스트에 대한 설명으로 올바른 것은?

이 분야의 비교