すでにp型の領域にn型の不純物を注入して、正味の不純物濃度を下げたり導電型を反転させたりする手法を何と呼ぶか。

正解：C. カウンタードーピング(補償)

反対の導電型の不純物を重ねて注入すると、ドナーとアクセプタが互いに打ち消し合い(補償)、正味のキャリア濃度が下がります。量が多ければ導電型が反転します。しきい値電圧の調整などに使われますが、総不純物量が増えるため移動度は下がりやすくなります。

• A. ゲッタリングは有害な不純物を捕らえる手法です。
• B. パッシベーションは表面を保護・不活性化する処理です。
• C. 正しい。反対の導電型の不純物で打ち消す手法です。