이온 주입
이미 p형인 영역에 n형 불순물을 주입하여 순 불순물 농도를 낮추거나 도전형을 반전시키는 기법을 무엇이라 하는가?
- A게터링
- B패시베이션
- C카운터 도핑(보상)
정답과 해설 보기
정답: C. 카운터 도핑(보상)
반대 도전형의 불순물을 겹쳐 주입하면 도너와 억셉터가 서로 상쇄되어(보상) 순 캐리어 농도가 낮아지고, 양이 많으면 도전형이 반전됩니다. 채널 표면만 농도를 낮추어 문턱 전압을 조정하거나 매립 채널을 만드는 데 사용됩니다. 다만 총 불순물량이 늘어 이온화 불순물 산란이 강해지므로 이동도가 낮아지기 쉽고 편차의 원인도 됩니다.
- A. 게터링은 유해한 불순물을 포획하는 기법입니다.
- B. 패시베이션은 표면을 보호·불활성화하는 처리입니다.
- C. 올바릅니다. 반대 도전형의 불순물로 상쇄하는 기법입니다.