離子佈植

對已是p型的區域佈植n型雜質,以降低淨雜質濃度或使導電型反轉的手法,稱為什麼?

  1. A吸附(gettering)
  2. B鈍化(passivation)
  3. C反摻雜(counter-doping,補償)
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正確答案:C. 反摻雜(counter-doping,補償)

若重疊佈植相反導電型的雜質,施體與受體會互相抵消(補償),淨載子濃度下降,量足夠多時導電型便會反轉。用於僅降低通道表面的濃度以調整臨界電壓,或形成埋入式通道等。然而總雜質量增加會使游離雜質散射增強,因此遷移率容易下降,也會成為變異的原因。

  • A. 吸附(gettering)是捕捉有害雜質的手法。
  • B. 鈍化是保護表面、使其惰性化的處理。
  • C. 正確。是以相反導電型的雜質抵消的手法。
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