減速モード(高いエネルギーで運んでからウエハの手前で減速する方式)の低エネルギー注入で注意が必要な「エネルギーコンタミネーション」の原因はどれか。

正解：A. 減速する前に中性化したイオンが減速されずに、高いエネルギーのままウエハに届くこと

減速モードでは、ビームを高いエネルギーで運んでから最後に減速して低エネルギーで注入します。途中でガスとの衝突などで中性化した粒子は電界で減速されないため、高いエネルギーのままウエハに届き、狙いより深い位置に不純物が入ります。浅い接合の形成では、ビームラインの真空度やフィルタで抑えます。

• A. 正しい。中性化した粒子が減速されずに届くことが原因です。
• B. ウエハの温度はエネルギーコンタミネーションの原因ではありません。
• C. 質量分析の強さが原因ではありません。