イオン注入 浅いp型接合をつくる際に、ボロンと一緒に炭素などを注入する(共注入する)主な目的はどれか。 Ap型をn型に変えるため Bウエハを発光させるため Cボロンの拡散を抑え、接合を浅く保つため 答えと解説を見る 正解：C. ボロンの拡散を抑え、接合を浅く保つため ボロンは格子間シリコンの助けを借りて拡散が増速されます(過渡増速拡散)。炭素を一緒に注入すると、炭素が格子間シリコンを捕らえるため、ボロンの拡散が抑えられ、アニール後も浅い接合を保てます。