ウエハの剥離(スマートカット)や、パワーデバイスのライフタイム制御などに使われるイオン注入として正しいものはどれか。

正解：B. 水素やヘリウムなどの軽いイオンの注入

水素を注入すると、注入した深さに微小な空洞ができ、熱処理でそこから剥離させることができます(スマートカット)。また、水素やヘリウムの注入でつくった欠陥は再結合中心として働くため、パワーデバイスのキャリアのライフタイムを局所的に短くして、スイッチングを速くするのにも使われます。