レーザーアニールの特徴として正しいものはどれか。

正解：C. ウエハの表面付近だけを極めて短い時間加熱でき、拡散を抑えながら高い活性化が得られる

レーザーアニールでは、レーザー光で表面付近だけをマイクロ秒〜ナノ秒程度の極めて短い時間で高温にします。不純物がほとんど拡散しないうちに活性化できるため、浅く低抵抗な接合をつくれます。下の層をあまり加熱しないため、裏面の工程などにも使われます。