イオン注入後の不純物の深さ方向の分布を近似的に表す分布と、そのピークの深さを表す量の組み合わせとして正しいものはどれか。

正解：B. ガウス分布で、ピークの深さを投影飛程(Rp)という

イオン注入した不純物の分布は、近似的にガウス分布で表され、ピークの深さを投影飛程Rp、広がりを標準偏差ΔRpで表します。Rpは加速エネルギーとイオンの種類で決まります。実際にはチャネリングなどによって裾が深い側に伸びることがあります。