이온 주입

미세 트랜지스터의 소스·드레인에 얕은 접합을 만들기 위한 방법으로 올바른 것은 무엇인가?

  1. A고에너지로 주입하고 장시간 노(furnace) 어닐링을 한다
  2. B이온 주입을 쓰지 않고 열산화만으로 형성한다
  3. C저에너지로 주입하고 매우 짧은 시간 가열하는 어닐링(스파이크 어닐링이나 레이저 어닐링 등)을 한다
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정답: C. 저에너지로 주입하고 매우 짧은 시간 가열하는 어닐링(스파이크 어닐링이나 레이저 어닐링 등)을 한다

얕은 접합을 만들려면 먼저 1 keV 이하 등의 저에너지로 얕게 주입합니다. 또한 어닐링에서 불순물이 확산되어 접합이 깊어지지 않도록, 최고 온도에서 유지하지 않고 바로 낮추는 스파이크 어닐링(약 1050 ℃, 1초 이하)이나 밀리초 이하로 표면만 가열하는 플래시 램프 어닐링·레이저 어닐링을 사용하여, 확산을 수 nm로 억제하면서 활성화합니다. 공동 주입(co-implantation)이나 프리 비정질화도 조합합니다.

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