高ドーズのイオン注入を受けたフォトレジストを除去するときに問題になりやすいことはどれか。

正解：B. 表面が炭化・硬化した層になり、通常のアッシングで急に加熱すると内部のガスで破裂(ポッピング)しやすい

高ドーズの注入を受けたレジストは、表面が炭化して硬い殻のような層になります。そのまま高温でアッシングすると、殻の下の柔らかいレジストから出るガスで殻が破裂し、残渣やパーティクルの原因になります。低温から段階的に処理するなどの工夫が必要です。

• A. 透明になることが問題なのではありません。
• B. 正しい。硬化した殻と破裂が問題になります。
• C. 注入を受けたレジストはむしろ除去しにくくなります。