イオン注入

イオン注入でチャネリング(イオンが結晶のすき間を通って深く入りすぎる現象)を抑える方法として一般的なものはどれか。

  1. A加速エネルギーを最大にする
  2. B注入後にウエハを洗浄する
  3. Cウエハを結晶軸から数度傾けて注入する
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正解：C. ウエハを結晶軸から数度傾けて注入する

結晶の原子の並びに沿ってイオンが入ると、原子に衝突しにくいすき間を通って予定より深く入ってしまいます。ウエハを結晶軸から数度(例:7°)傾けて注入したり、表面に薄い膜を通して注入したりすることで、チャネリングを抑えます。

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