배선 공정

일렉트로마이그레이션에 의한 배선 수명을 나타내는 블랙의 식에서 수명을 짧게 하는 요인으로 올바른 것은?

  1. A배선을 굵게 하는 것
  2. B전류 밀도가 높은 것과 온도가 높은 것
  3. C온도를 낮추는 것
정답과 해설 보기

정답: B. 전류 밀도가 높은 것과 온도가 높은 것

블랙의 식에서 평균 고장 시간은 MTTF = A·J⁻ⁿ·exp(Ea/kT)로 표현되며, 전류 밀도 J의 n제곱(n은 약 2)에 반비례하고 온도에 대해 지수 함수적으로 짧아집니다. 그래서 시험에서는 사용 조건보다 높은 전류 밀도와 온도(예를 들어 300 ℃ 안팎)로 가속하여 고장 시간을 측정하고, 식으로 사용 조건의 수명으로 환산합니다. 설계에서는 배선마다 흘려도 되는 전류 밀도의 상한(예를 들어 MA/cm² 수준)이 정해져 있습니다.

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