トランジスタのソース・ドレインやゲートの表面に、NiSiなどのシリサイドを形成する目的はどれか。

正解：C. 電極部分の抵抗や接触抵抗を下げる

シリサイドは金属とシリコンの化合物で、シリコンより抵抗がはるかに低くなります。ソース・ドレインやゲートの表面をシリサイド化することで、シート抵抗や配線との接触抵抗を下げられます。ゲートなどに自己整合的に形成する技術をサリサイドと呼びます。