先進電晶體（FinFET與GAA）
下列關於用來估計短通道效應強弱的「尺度長度（自然長度）λ」之說明，何者正確？
- A閘極配線的長度
- B汲極電位的影響在通道內所及距離的基準，閘極長度只要比 λ 長得多，短通道效應就小
- C與鰭片高度完全相同的值
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正確答案：B. 汲極電位的影響在通道內所及距離的基準，閘極長度只要比 λ 長得多，短通道效應就小
尺度長度 λ 是汲極電位的影響在通道內呈指數衰減之距離的基準，在平面型中如 λ ≈ √((εSi/εox)·tox·tSi) 般由絕緣膜與通道的厚度決定。若閘極長度為 λ 的 5～10 倍左右，短通道效應就能被抑制得很小。被閘極包覆的面越多的結構（雙閘極→三閘極→GAA），λ 越小，可微縮到更短的閘極長度。
- A. 並不是表示配線長度。
- B. 正確。是汲極影響所及距離的基準。
- C. 與鰭片高度是不同的量。