첨단 트랜지스터(FinFET과 GAA)
단채널 효과의 강도를 가늠하는 데 사용되는 「스케일 길이(내추럴 길이) λ」에 대한 설명으로 올바른 것은?
- A게이트 배선의 길이
- B드레인 전위의 영향이 채널 안에 미치는 거리의 기준으로, 게이트 길이가 λ보다 충분히 길면 단채널 효과는 작다
- C핀의 높이와 완전히 같은 값
정답과 해설 보기
정답: B. 드레인 전위의 영향이 채널 안에 미치는 거리의 기준으로, 게이트 길이가 λ보다 충분히 길면 단채널 효과는 작다
스케일 길이 λ는 채널 안에서 드레인 전위의 영향이 지수 함수적으로 감쇠하는 거리의 기준이며, 평면형에서는 λ ≈ √((εSi/εox)·tox·tSi)와 같이 절연막과 채널의 두께로 정해집니다. 게이트 길이가 λ의 5~10배 정도 되면 단채널 효과를 작게 억제할 수 있습니다. 게이트로 둘러싸는 면이 많은 구조(더블 게이트→트라이 게이트→GAA)일수록 λ가 작아져 더 짧은 게이트 길이까지 미세화할 수 있습니다.
- A. 배선의 길이를 나타내는 것이 아닙니다.
- B. 맞습니다. 드레인의 영향이 미치는 거리의 기준입니다.
- C. 핀의 높이와는 별개의 양입니다.