エピタキシャル成長中に不純物を添加する方法が、熱拡散と比べて有利な点として正しいものはどれか。

正解：B. 深さ方向に急峻な濃度の変化をつくりやすい

熱拡散では、不純物が表面から内部へ広がるため、濃度はなだらかに変化します。エピタキシャル成長では、成長中に添加するガスの量を切り替えることで、層ごとに濃度を変えられ、急峻な濃度の変化や、内部に高濃度の層を埋め込んだ構造をつくれます。