タングステンのCMPで、スラリーに過酸化水素などの酸化剤を加える理由として正しいものはどれか。

正解：A. タングステンの表面を研磨しやすい酸化物に変えるため

タングステンは硬い金属で、そのまま機械的に研磨するのは困難です。酸化剤で表面を柔らかい酸化物に変え、それを研磨粒子で取り除くことを繰り返して研磨を進めます。CMPの「化学」の部分の役割がよくわかる例です。