FOUPの内部を窒素で置換(パージ)する主な目的はどれか。

正解：A. ウエハ表面の酸化や、水分・分子状汚染の付着を抑えるため

FOUPの中に空気があると、工程の間の待ち時間にウエハの表面が酸化したり、水分や分子状の汚染が付着したりします。窒素でパージすると、酸素と水分を減らして表面の状態を保てるため、微細化が進んだ工程で重要になっています。