クリーンルームの湿度を極端に低くしすぎないように管理する理由の一つとして正しいものはどれか。

正解：B. 湿度が低すぎると静電気が発生しやすくなるため

空気が乾燥しすぎると静電気が発生しやすくなり、ウエハへのパーティクルの付着や静電気放電によるデバイスの損傷の原因になります。一方で湿度が高すぎると、レジストの特性や腐食に影響するため、クリーンルームの湿度は一定の範囲に管理されています。