クリーンルーム・製造装置

クリーンルームでの主要な発塵源の一つで、クリーンスーツの着用で対策するものはどれか。

  1. A作業者(人)
  2. Bウエハ
  3. C天井のフィルタ
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正解:A. 作業者(人)

人は、皮膚のかけら、髪の毛、衣服の繊維などを常に放出しており、クリーンルームの主要な発塵源です。そのため作業者は、全身を覆うクリーンスーツやマスク、手袋を着用し、エアシャワーを通ってから入室します。自動化も発塵を減らす重要な手段です。

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