クリーンルーム・製造装置
露光装置などの精密装置で、床から伝わる振動の影響を抑えるために用いられるものはどれか。
- A除振台(アクティブ除振装置など)
- B加湿器
- CFOUP
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正解:A. 除振台(アクティブ除振装置など)
露光装置や電子顕微鏡などの精密装置は、わずかな振動でも精度が落ちます。そのため、ばねや空気ばね、振動を打ち消すように制御するアクティブ除振装置などの除振台の上に設置します。工場の建屋も振動の少ない構造で設計されます。
クリーンルーム・製造装置
正解:A. 除振台(アクティブ除振装置など)
露光装置や電子顕微鏡などの精密装置は、わずかな振動でも精度が落ちます。そのため、ばねや空気ばね、振動を打ち消すように制御するアクティブ除振装置などの除振台の上に設置します。工場の建屋も振動の少ない構造で設計されます。