クリーンルーム・製造装置

露光装置などの精密装置で、床から伝わる振動の影響を抑えるために用いられるものはどれか。

  1. A除振台(アクティブ除振装置など)
  2. B加湿器
  3. CFOUP
答えと解説を見る

正解:A. 除振台(アクティブ除振装置など)

露光装置や電子顕微鏡などの精密装置は、わずかな振動でも精度が落ちます。そのため、ばねや空気ばね、振動を打ち消すように制御するアクティブ除振装置などの除振台の上に設置します。工場の建屋も振動の少ない構造で設計されます。

この分野を解く 分野ページへ

クリーンルーム・製造装置のほかの問題

  1. クリーンルームで、空気中にイオンを供給してウエハや装置の帯電を中和する装置はどれか。
  2. 製造装置の前面で、FOUPのふたを開け、ウエハを清浄な環境のまま装置内に搬送するユニットはどれか。
  3. クリーンスーツに求められる性質として正しいものはどれか。
  4. 天井にフィルタとファンを一体化して並べ、清浄な空気を送り出す装置はどれか。
  5. クリーンルームの湿度を極端に低くしすぎないように管理する理由の一つとして正しいものはどれか。